光伏——上下料系统主要包含:单晶炉取晶 AGV,截断下料AGV,开方上下料系统,磨到上下料系统等。结构形式多样、适应车间内外搬运及设备上下料、定位精度高、组合式导航柔性好、多车集群控制服务于高节拍生产。
类型:AGV;
适用原料:截断后的短料。
功能:寻棒找中、夹取、编码、导航、调度、MES通信等,每车8根;
在整个芯片制造中,晶圆是芯片的重要原材料,航天智造(上海)科技有限责任公司(以下简称航天智造)从单晶硅生产流程中的物流上下料方向进行拓展,目前已应用单晶硅截取下料agv、单晶硅取晶车。
类型:输送系统;
适用原料:圆棒,方棒等;
组成:AGV+桁架式三坐标机械手+缓存线+调度系统;
用途:产品分级和定机台配送、MES通信等。
类型:输送系统;
适用原料:圆棒,方棒等;
组成: 桁架式三坐标机械手+缓存线+调度系统;
用途:产品分级和定机台配送、MES通信等。
单晶炉上下料系统(长棒抓取方案)
类型:半自动型、AGV型;
适用原料:长棒;
用途:提升、旋转、夹抱、导航、调度、编码功能、称重等。