航天智造 动承天下 力推未来
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通过共聚焦显微测量技术实现高真空度环境下栅极腐蚀的在线实时测量,可以有效避免重复抽放真空对栅极设备寿命的影响问题,同时极大提高了栅极腐蚀检测的速度和精度,测量精度可达到0.008mm,为栅极寿命试验提供精准详细的数据支持。
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