2021-01-15

航天智造——单晶硅加工线柔性输送系统

导读

近年来，我国单晶硅材料的制造和加工的规模与质量突飞猛进，很大程度上得益于智能制造技术的投入和发展。航天智造较早布局半导体材料的制造、加工和检测等环节的智能装备整体解决方案，并成功树立了某半导体企业较为完整的自动化线标杆案例。

航天智造（上海）科技有限责任公司研究开发了AGV机器人、桁架机械手系统、积放式检测线、激光打码和CCD读数的质量追溯系统，用于单晶硅生产流程中的单晶炉上下料、硅棒的截断上下料、开方和磨倒等机加工上下料到电性能检测和外形尺寸检测，具备协同作业功能全、定位精度高、适应非标准工件的柔性好、积水地面和多尘及腐蚀性环境下的鲁棒性强、数字化程度高等优势，为降低该产业的人工依赖度、降低人力和管理成本，提高生产节拍和质量水平提供了卓越的生产力支撑。

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